TY - GEN AU - Müller, Manuel AU - Hoepfl, Raphael AU - Liensberger, Lukas AU - Geprägs, Stephan AU - Huebl, Hans AU - Weiler, Mathias AU - Gross, Rudolf Rudolf AU - Althammer, Matthias T1 - Growth optimization of TaN for superconducting spintronics CY - PY - 2021 PB - T3 - Materials for Quantum Technology VL - 1 UR - https://www.doi.org/10.1088/2633-4356/ac2e14