TY - GEN AU - Luschmann, Thomas AU - Jung, Alexander AU - Geprägs, Stephan AU - Haslbeck, Franz X. AU - Marx, Achim AU - Filipp, Stefan AU - Gröblacher, Simon AU - Gross, Rudolf AU - Huebl, Hans T1 - Surface acoustic wave resonators on thin film piezoelectric substrates in the quantum regime CY - PY - 2023 PB - T3 - Materials for Quantum Technology VL - 3 UR - https://www.doi.org/10.1088/2633-4356/acc9f6